金融界2025年1月30日音书，国度常识产权局信息深切，北京朔方华创微电子装备有限公司苦求一项名为“清洁额外的检测方法及半导体工艺开发”的专利，公开号CN119372621A，苦求日历为2023年7月。

专利摘录深切，本苦求公开一种清洁额外的检测方法及半导体工艺开发，其中检测方法包括：在工艺腔室实验原子层千里积工艺之前变成粉饰所述工艺腔室里面系数这个词名义的信号膜层；在所述工艺腔室达到清洗条目时，向所述工艺腔室通入清洁气体，以实验清洁工艺，生成清洁后的反馈气体；检测所述反馈气体中所述信号膜层对应的反馈物变化信息，证实所述反馈物变化信息细目清洁额外。本苦求梗概实时检测清洁额外，最大领域地幸免过度清洁或者清洁不全王人的问题。

天眼查而已深切，北京朔方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册成本114153.708311万东谈主民币，实缴成本114153.708311万东谈主民币。通过天眼查大数据分析，北京朔方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标形状1000次，常识产权方面有商标信息38条，专利信息5000条，此外企业还领有行政许可339个。

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